LPC-MVPC2 ´Â ±âÁ¸ÀÇ Volume controller ÀÇ °³³ä¿¡ 2 step Gear ¹æ½ÄÀ» Àû¿ëÇÏ¿© ¼öµ¿ ¹Ì¾Ð Á¦¾î¿¡ °¡Àå ÀûÇÕÇÏ°Ô ¼³°èµÈ Low Pressure Controller ÀÌ´Ù. 1´Ü°èÀÇ ÇÚµéÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© RoughÇÑ ¾Ð·ÂÀ» ¹ß»ý(Á¦¾î)ÇÏ°í, ·¡Ä¡ ½ºÀ§Ä¡¸¦ ÀÛµ¿ÇÏ¿© 1´Ü°èÀÇ ÇÚµé µ¿ÀÛÀ» ÀϽà ¸ØÃá ÈÄ 2´Ü ÇÚµéÀ» µ¹¸®¸é 0.1 Pa ÀÌÇÏÀÇ ¾Ð·ÂÀ» ¼öµ¿À¸·Îµµ ¾ÈÁ¤ÀûÀ̸鼵µ ½±°Ô Á¦¾î ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÇöÀç À¯ÅëµÇ°í ÀÖ´Â ¹Ì¾Ð¿ë ¾Ð·Â°èµé¿¡ ÀûÇÕÇÑ ºê¶óÄÏÀÌ Á¦°øµÊÀ¸·Î¼ ½Ç³»´Â ¹°·Ð ÇöÀå ±³Á¤¿¡¼µµ Å« ¾î·Á¿ò ¾øÀÌ ¹Ì¾Ð ¹ß»ý°ú Á¦¾î·Î ½ÇÇè¿¡ ½ÇÁúÀûÀÎ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ» ±â´ëÇØ º¾´Ï´Ù.
<?xml:namespace prefix = "o" ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />
-¹Ì¾ÐÀ» ¸ñÀûÀ¸·Î Á¦À۵ǾúÀ¸³ª, ³»±¸¼ºÀº 20MPa ¼öÁØÀÇ °í¾Ð±îÁö Control ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Vent Port¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÃÑ 3°³ÀÇ Test Port°¡ ÀÖÀ¸¸ç, Vent ¹ëºê¿¡´Â Åä±Û ¹ëºê°¡ Àû¿ëµÇ¾î Open/Close ¶§ ¸Å¿ì Æí¸®ÇÕ´Ï´Ù.
¹Ù´Ú¿¡ Àû´çÈ÷ ¶ç¿ö Áú¼ö ÀÖµµ·Ï ½ºÅĵå-ºê¶óÄÏÀ» Á¦°øÇÔÀ¸·Î½á ½Ã Æí¸®ÇÔÀ» Ãß±¸ ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
°í¾Ð¿¡ »ç¿ëÇÒ ¶§¿¡´Â Á¦°Å ÈÄ ´Ù¸¥ ±Ô°ÝÀÇ ÇÇÆÃÀ» ¿¬°áÇÏ¿© ÃÖ´ë 20MPa±îÁö »ç¿ëÇصµ ÀüÇô ¹®Á¦°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.